VIP小说 通过搜索各大小说站为您自动抓取各类小说的最快更新供您阅读!

梁安平亲自动手,使用专用夹具,将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器,拿去芯片生产线那边,去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后,所有工序走完,几十片硅晶圆,变成了一千多枚封装完成的ARM1芯片。吴志航、吴光辉、梁安平等高管和研发人员,开始动手对这批芯片进行全面测试。半小时后,所有芯片测试完成,梁安平对测试结果进行了汇总,最后宣布道:“此次一微米光刻机测试,共选用了35片硅晶圆,加工过后,切割封装成1750枚芯片。经全面测试,合格产品共1203枚,合格率为68.7%。也就是说,咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机,第一次开机测试生产,就成功了,且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台佳能和尼康光刻机的加工水平。”

听完梁安平的发言,吴志航带头鼓掌,其他北极星高管和研发人员,以及其他负责封装测试的员工紧随其后,现场爆发出一阵热烈的掌声。

(以下重复,两小时后刷新)

第二天,吴志航驱车返回了深圳电子产业园,连别墅也没回,第一时间就来到了晶圆工厂。光刻机需要工作在超高无尘环境下,刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服,戴上防尘帽,通过风淋间进入无尘车间。

此时是上午十点左右,处于每天的早班时间,晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作,数千名工人,正在生产线上,有条不紊的工作。走过生产区域,进入测试区域,以梁安平为首的几十名研究人员,正围在一台一人多高的设备,做最后的调试,旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去,朝研发部长吴光辉问道:“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机,什么时候能开始光刻测试?”

听到有人提问,杨威力、丁小雅等人同时转头看过来,见是老板吴志航,纷纷打招呼问好,吴光辉出声给吴志航解释道:“对,就是这台机器,昨天组装完成之后,第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间,经过一天一夜的安装调试,现在已经要差不多了。”

吴志航满意的点点头,围着光刻机转了一圈,这台设备为全封闭结构,就像一个四四方方的铁皮文件柜,外壳喷涂成了乳白色,左右两侧,设置有硅晶圆入口和出口,靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道:“只看外表,和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样,这是对外壳进行了优化吗?”

吴光辉摇摇头,说道:“不止优化了外壳,也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗,梁教授他们研发一微米光刻机的时候,参考了0.5微米光刻机的内部结构,对设计图进行了一些更改优化。理论上来说,这些优化对晶圆的加工速度和加工精度,都有所提升,实际情况如何,还需要测试过后才知道。”

梁安平等人又忙活了半个多小时,光刻机终于调试完成,将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。杨威力通过对讲机沟通,让一位名为白巧玲的女工,送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆,梁安平亲自动手,将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上,然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音,一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部,在深色玻璃观察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,开始对硅晶圆进行加工。

见状,吴志航出声询问道:“这台光刻机使用的是哪种光源,是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line,还是248nm的KrF(氟化氪)准分子激光作为光源?”

吴光辉答道:“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源,理论上,这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米,作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源,是下一代光刻机光源技术,咱们研发部已经立项开始研发,但这种技术在世界范围内,也是最前沿研发项目,开发难度非常高,不是短期内能攻克的。”

这台光刻机的加工速度还是很快的,即使是初次测试,白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内,全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上,多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版,是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版,其复杂程度和尺寸大小,是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划,第一次光刻测试,应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标,这样一来,就可以从易到难,逐步查漏补缺,将光刻机修改完善。但梁安平和几个主要研发人员,对光刻机测试样机非常有信心,直接上了最大难度,也是需求量最大的ARM1芯片。

北极星公司推出的第二代游戏掌机上市之后,立刻受到电玩爱好者的热捧,仅仅上市半个多月,就售出了300万台。随机配送的《超级玛丽》和《功夫小子》两款游戏,在画面、音效、游戏可玩性上,碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销,作为主控芯片的ARM1需求量大增,可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间,提升速度非常缓慢。经过孟小刚、梁安平,几个相关领域的专家研究分析,认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备,能正常生产芯片就不错了,想要苛求加工参数完全达标,几乎不可能。其中影响最大的,就是作为核心设备的光刻机。

VIP小说推荐阅读:都市极品医神叶辰拒绝我表白,咋疯狂爱上我了?沈先生,你的黑心小祖宗回来了迎良人石柱成精世间恶魔皆为我所创我只是个医圣而已盛宴吞噬黑暗法师!我即是天魔明日超凡外卖小哥都市奢华生活重生2000:从追求青涩校花同桌开始大佬压力大寒门崛起之从少校晋升将军超级返现:冰山美人爱上我高武:吾既修罗,杀戮成神娱乐:谁说渔民就不能搞艺术了?父母被杀后,我化身恶魔复仇万古神帝穿越六零,我疯狂点亮技能文娱:以搬运工的名义神瞳弃少妾要休夫:冷情王爷快放手三界时空旁听生emo:开局吐槽前女友暴君的醋坛子又翻了娱乐没有圈:重生影后,狠嚣张爱若繁花盛开重生甜蜜蜜:老婆,乖一点!穿越,我在异世做反派很晚遇见你都市无敌战兵华娱之出道即巅峰盛宠医妃:十九爷,别撩火异虫迷城:触手娘的养育手册重返风华年代时代好青年我扶男二上位后寻锦春穿成恶毒女配后我成功洗白这没名没分的日子我不过了开局被催债,眼睛突然能扫码退婚后,病娇王爷宠我如珠似宝渔夫逆袭:开局救美,渔获满舱古穿今之武戏女王我有一个工业世界土拨鼠拨土重生之重来的话我来到这个年代病娇女总裁爱上我
VIP小说搜藏榜:我不是戏神规则怪谈,我能无限违反规则华夏神兵哪家强,就得看我白发郎纵横港综:你管这叫差佬?我说今夜无神,于是众神陨落香江:王者崛起规则怪谈:全球直播求生神瞳弃少妾要休夫:冷情王爷快放手三界时空旁听生emo:开局吐槽前女友暴君的醋坛子又翻了娱乐没有圈:重生影后,狠嚣张爱若繁花盛开重生甜蜜蜜:老婆,乖一点!穿越,我在异世做反派很晚遇见你都市无敌战兵华娱之出道即巅峰盛宠医妃:十九爷,别撩火异虫迷城:触手娘的养育手册重返风华年代时代好青年我扶男二上位后寻锦春穿成恶毒女配后我成功洗白这没名没分的日子我不过了开局被催债,眼睛突然能扫码退婚后,病娇王爷宠我如珠似宝渔夫逆袭:开局救美,渔获满舱古穿今之武戏女王我有一个工业世界土拨鼠拨土重生之重来的话我来到这个年代病娇女总裁爱上我婚约对象是七位师姐,我要退婚!赐光系列一捻暗女院长的私房高手末世:我靠空间农场娇养女神军团少年特工王乡村神医:树先生护花狂龙圣幕之下:我收到一封信开始空间锦鲤:带着全家穿六零劈天斩神秦时明月之无限打卡陆先生余生请多指教直播之随身厨房
VIP小说最新小说:守界乡野妙手神医出山当县令?我只是一个猎户啊?高武:我有一座梦境屋斩神:镇魂将弑神,红缨震惊京电最牛明星班那是科研大佬,你管他叫无能赘婿护花兵王:我的总裁大小姐风雨真情天路之幸福到我家被抛弃后我打开了仙界直播间均胜奇迹重生了谁还混社会啊人间如疫花一元返一万,神豪生活快哉快哉地牢求生:从合成臭水开始!雷电无敌?这只是我低调而已重生89:开局手撕无赖亲戚开局强吻校花,觉醒混沌级天赋我欲成仙:尔等皆是蝼蚁成功的方法三界诡运录大山中走出的京圈太子爷离凛夭寿啊!这个老六是时间系!启天云梦书海之外的眷恋异能天下仙术为尊港片:制霸江湖与商界三国杀降临,你们连规则都不懂?九叔:开局加入幼崽聊天群成为神豪后,我的生活很丰富精神病院的灵异秘录通往真相的迷宫失去神力,看我如何翻天倾城系统别人御兽,你被兽御我被病娇女财阀包养了官场风月:平行红顶,能看见麻烦亮剑光芒冷,马踏樱花红重生2000一代神豪高剑飞抗战:每天签到一个大礼包笨女友,不许哭医武无双综艺:五哈到桃花坞让你演警察,你真抓通缉犯下山后太强了,绝色师姐超宠我抗战:开局一个现代化集团军!重生港岛缔造东方硅谷重生:开局抓到高冷校花超市偷窃